指標名稱 | 一級水 | 二級水 | 三級水 |
| 1級水>10MΩ | 2級水>1MΩ | 3級水>0.2MΩ |
PH值范圍(25℃) | -- | -- | 5.0-7.5 |
比電阻MΩ.cm(25℃)> | 10 | 1 | 0.2 |
電導率(25℃)≤ | 0.1 | 1 | 5 |
可氧化物[以O計]mg/L | -- | 0.08 | 0.40 |
吸光度(254nm,1cm光程)≤ | 0.001 | 0.01 | -- |
二氧化硅(mg/L) | 0.02 | 0.05 | -- |
蒸發殘渣(mg/L) | -- | 1.0 | 2.0 |